简要描述:粘性浆料压力传感器,适用于粘性CMP浆料的压力测量由于没有死区,因此不存在CMP浆料硬化或气泡等问题。
详细介绍
粘性浆料压力传感器
SE4000
适用于粘性CMP浆料的压力测量
由于没有死区,因此不存在CMP浆料硬化或气泡等问题。
具有流通结构的高粘度兼容 PFA 传感器
兼容电流/电压输出、火炬、Super300等配件
对应高粘度流体的直通型构造的PFA压力传感器
-0.1又或0~0.3, 0.5, 1MPa
电流/电压输出,可对应Flared,Super300等的接头
接触流体部分:PFA
应用:泥浆、slurry流体
粘性浆料压力传感器
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