ALICAT气体质量控制器由质量流量计传感器、分流器通道、流量控制调节阀、放大控制电路组成。被测气体分成两个层流区，一个通过主流量管道，另一个通过毛细管。*的设计确保两个管路里的流体都是层流状态，因此两个管路的流量比是恒定的。工作时，毛细管上两个精确的温度感应绕组被加热，当有流量时，被加热的气体从上游到下游流动，在两个感应绕组之间产生了温差，温差与电阻的变化成比例关系。它们在集成电路、材料、石化、环保、医疗、分析仪器等多种领域和行业的科研和生产中发挥着不可替代的作用。
ALICAT气体质量控制器在使用时有一定的操作规程和注意事项，在使用的时候必须要注意这么几点：
一、禁用流量介质，使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时在气路中加装过滤器干燥器等。如果仪表出口接有液体原瓶，应在流量出口加装单向阀，防止液体回流损坏仪表。
二、使用腐蚀性气体，仪表通道材料为0Cr17Ni14Mo2(相当于316L不锈钢)，在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下，可测量一般的腐蚀性气体。使用于氨气、有机溶剂蒸汽或其它强腐蚀性气体时，应在订货时特殊注明，以便更换密封材料。
三、阀门要注意密封，仪表的电磁阀是调节阀，不是截止阀，不能当截止阀使用，用户应另配截止阀。特别是使用腐蚀性气体时，通常应在仪表进出口处各加一个截止阀，以保证安全。长期工作后，如仪表阀口的漏气率在2%FS以内，属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%，则应予以维修。
四、注意阀控操作，在操作阀门进行清洗后，不能直接转至“阀控”位工作，必须先将阀门置于“关闭”位，然后再转至“阀控”位工作。
五、注意安装，安装时尽量保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平安装时如发现零点偏移，可调整零点后再工作。
六、注意工作压差，对于仪表要特别注意工作介质的气压，应注意使仪表进出气两端的工作压差保持在治标范围内。特别是在高压下工作时，气压差过大，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的仪表时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，如工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。
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